1
Assuntos:
“...Microeletrônica (Processos)...”
Deposição de silício policristalino por LPCVD.
Dissertação
2
Assuntos:
“...Microeletrônica (Processos)...”
Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente.
Tese
3
Assuntos:
“...Microeletrônica (processos)...”
Silício poroso funcionalizado com moléculas de azul de metileno para aplicações em sensores químicos.
Dissertação
4
Assuntos:
“...Microeletrônica - processos em microeletrônica...”
Fabricação de canaletas em substratos de silício para acoplamento fibra-guia utilizando siliceto de níquel como material de máscara.
Dissertação
5
Assuntos:
“...Microeletrônica (Processos)...”
Estudo e caracterização de filmes SIPOS para a passivação de dispositivos de potência.
Dissertação
6
Assuntos:
“...Microeletrônica (Processos)...”
Desenvolvimento de um sistema multicâmara integrado para deposição e recozimento de filmes \'SI\'\'O IND.2\'
Tese
7
Assuntos:
“...Microeletrônica (Processos)...”
Caracterização elétrica de filmes finos de SiO2 - TEOS depositados por PECVD.
Dissertação
8
Assuntos:
“...Microeletrônica (Processos)...”
Estudo e caracterização do processo PECVD-TEOS para a deposição de filmes de óxido de silício e estudo das interfaces.
Tese
9
Assuntos:
“...Microeletrônica (Processos)...”
Desenvolvimento de guias de onda em estrutura pedestal para aplicações em óptica não-linear.
Dissertação