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1
Estudo da formação do siliceto de titânio obtido pela reação de filmes finos de titânio com silício policristalino e com silício amorfo.
Por
Silva
,
Ana
Neilde
Rodrigues
da
Publicado em 1994
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Dissertação
2
Estudo e caracterização do processo PECVD-TEOS para a deposição de filmes de óxido de silício e estudo das interfaces.
Por
Silva
,
Ana
Neilde
Rodrigues
da
Publicado em 2000
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Tese
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