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Assuntos: ...Chemical vapor deposition...

Caracterização elétrica de filmes finos de SiO2 - TEOS depositados por PECVD.

Publicado em 1998
Dissertação

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Assuntos: ...Plasma enhanced chemical vapor deposition...

Filtros interferenciais construídos com dielétricos depositados pela técnica de PECVD.

Publicado em 2008
Dissertação