Detalhes bibliográficos
| Ano de defesa: |
2002 |
| Autor(a) principal: |
Oliveira, Roney Cosme Lopes |
| Orientador(a): |
Não Informado pela instituição |
| Banca de defesa: |
Não Informado pela instituição |
| Tipo de documento: |
Dissertação
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| Tipo de acesso: |
Acesso aberto |
| Idioma: |
por |
| Instituição de defesa: |
Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
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| Programa de Pós-Graduação: |
Não Informado pela instituição
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| Departamento: |
Não Informado pela instituição
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| País: |
Não Informado pela instituição
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| Palavras-chave em Português: |
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| Link de acesso: |
https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11092024-145622/
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Resumo: |
O presente trabalho tem como objetivo, contribuir para o projeto, fabricação e caracterização de transdutores termoelétricos promovendo o desenvolvimento de termopilhas integradas utilizando-se para tanto da tecnologia de fabricação do silício para construção de circuitos integrados e microestruturas. Este trabalho foi dividido em três etapas, onde a primeira etapa consta de uma ampla revisão bibliográfica, objetivando através de uma abordagem sistemática e criteriosa, contemplar os fundamentos de sensores térmicos e termopilhas, materiais utilizados no projeto e fabricação de termopilhas integradas, estruturas com suas geometrias clássicas, os processos envolvidos na fabricação de termopilhas integradas e aplicações de dispositivos baseados no efeito Seebeck. A segunda etapa tem como objetivo, o projeto e fabricação de estruturas térmicas de teste, usando materiais e técnicas compatíveis com a tecnologia do silício. Finalmente, a terceira etapa tem por objetivo, a caracterização das estruturas com a obtenção dos parâmetros básicos, contribuindo dessa forma, para o projeto e fabricação de estruturas tais como termopares e termopilhas. |
