Sensores térmicos e termopilhas.

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 2002
Autor(a) principal: Oliveira, Roney Cosme Lopes
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Link de acesso: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11092024-145622/
Resumo: O presente trabalho tem como objetivo, contribuir para o projeto, fabricação e caracterização de transdutores termoelétricos promovendo o desenvolvimento de termopilhas integradas utilizando-se para tanto da tecnologia de fabricação do silício para construção de circuitos integrados e microestruturas. Este trabalho foi dividido em três etapas, onde a primeira etapa consta de uma ampla revisão bibliográfica, objetivando através de uma abordagem sistemática e criteriosa, contemplar os fundamentos de sensores térmicos e termopilhas, materiais utilizados no projeto e fabricação de termopilhas integradas, estruturas com suas geometrias clássicas, os processos envolvidos na fabricação de termopilhas integradas e aplicações de dispositivos baseados no efeito Seebeck. A segunda etapa tem como objetivo, o projeto e fabricação de estruturas térmicas de teste, usando materiais e técnicas compatíveis com a tecnologia do silício. Finalmente, a terceira etapa tem por objetivo, a caracterização das estruturas com a obtenção dos parâmetros básicos, contribuindo dessa forma, para o projeto e fabricação de estruturas tais como termopares e termopilhas.