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Assuntos:
“...PECVD...”
Síntese e caracterização de nanotubos de carbono mediante as técnicas de CVD e PECVD.
Tese
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Assuntos:
“...PECVD....”
Funcionalização de multicamadas de grafeno com plasmas frios usando diferentes misturas gasosas
Dissertação
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Assuntos:
“...PECVD...”
Estudo e produção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) pela técnica de PECVD.
Dissertação
8
Assuntos:
“...Materiais PECVD...”
Desenvolvimento de micropontas de silício com eletrodos integrados para dispositivos de emissão por efeito de campo.
Dissertação
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Assuntos:
“...PECVD...”
Propriedades químicas e morfológicas de filmes hidrogenados de carbeto de silício amorfo.
Dissertação
12
Assuntos:
“...PECVD...”
Estudo das etapas de fabricação de dispositivos eletro-termo-ópticos utilizando o interferômetro Mach-Zehnder.
Dissertação
13
Assuntos:
“...PECVD...”
Polimerização em plasmas de misturas de alguns hidrocarbonetos com nitrogênio e gases nobres
Dissertação
14
Assuntos:
“...PECVD...”
Investigações sobre o processo de deposição de filmes em plasmas de organometálico
Dissertação
15
Assuntos:
“...PECVD...”
Efeito de lente térmica e não-linearidades ópticas do silício amorfo hidrogenado dopado com fósforo.
Dissertação
16
Assuntos:
“...PECVD...”
Estudo de viabilidade de integração de micro-lâmpadas incandescentes com filtros interferenciais.
Tese
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Assuntos:
“...PECVD....”
Estudo do efeito da modificação da fibra de sisal usando plasma frio reativo e seu impacto na remoção do azul de metileno
Dissertação
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20
Assuntos:
“...PECVD...”
Estudo e fabricação de capacitores MOS com camada isolante de SiOxNy depositada por PECVD.
Dissertação