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[en] SYNTHESIS AND STRUCTURAL, MECHANICAL AND TRIBOLOGICAL CHARACTERIZATION OF THIN FILMS DEPOSITED BY PECVD FROM ORGANOSILICON

Publicado em 2020
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[pt] PROPRIEDADES ESTRUTURAIS E MECÂNICAS DE FILMES FINOS DEPOSITADOS A PARTIR DE HEXAMETILDISSILAZANO POR PECVD

Publicado em 2015
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