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Assuntos:
“...silicon oxynitride...”
Estudo e fabricação de capacitores MOS com camada isolante de SiOxNy depositada por PECVD.
Dissertação
2
Assuntos:
“...Silicon oxynitride...”
Estudo de camadas dielétricas para aplicação em capacitores MOS.
Tese
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4
Assuntos:
“...Silicon oxynitride...”
Estudo das propriedades químicas, morfológicas e estruturais de oxinitreto de silício depositado por PECVD
Tese
5
Assuntos:
“...Silicon oxynitride...”
Estudo da morfologia e estrutura de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) obtidos pela técnica de PECVD.
Tese
6
Assuntos:
“...Silicon oxynitride...”
Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS.
Tese
7
Assuntos:
“...Silicon oxynitride...”
Estudo de viabilidade de integração de micro-lâmpadas incandescentes com filtros interferenciais.
Tese
8
Assuntos:
“...Silicon oxynitride...”
Obtenção e caracterização de filmes finos de oxido, nitreto e oxinitreto de silicio por deposição ECR-CVD
Dissertação
9
Assuntos:
“...Silicon oxynitride...”
Desenvolvimento de guias de onda em estrutura pedestal para aplicações em óptica não-linear.
Dissertação