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Assuntos:
“...Películas de silício...”
Películas de silício microcristalino hidrogenado depositadas a baixa temperatura pela técnica PECVD.
Tese
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Assuntos:
“...Películas de silício...”
Películas de silício microcristalino hidrogenado: um estudo de desenvolvimento de sua obtenção por processo CVD assistido por plasma.
Dissertação