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1
Películas de silício microcristalino hidrogenado depositadas a baixa temperatura pela técnica PECVD.
Por
Dirani
,
Ely
Antonio
Tadeu
Publicado em 1998
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Tese
2
Películas de silício microcristalino hidrogenado: um estudo de desenvolvimento de sua obtenção por processo CVD assistido por plasma.
Por
Dirani
,
Ely
Antonio
Tadeu
Publicado em 1991
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Dissertação
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