1
Assuntos:
“...Oxynitride...”
"Estudo do compósito 3Y-TZP/Sl2N2O obtido por sinterização sem pressão"
Tese
2
Assuntos:
“...silicon oxynitride...”
Estudo e fabricação de capacitores MOS com camada isolante de SiOxNy depositada por PECVD.
Dissertação
3
Assuntos:
“...Silicon oxynitride...”
Estudo de camadas dielétricas para aplicação em capacitores MOS.
Tese
4
5
Assuntos:
“...Silicon oxynitride...”
Estudo das propriedades químicas, morfológicas e estruturais de oxinitreto de silício depositado por PECVD
Tese
6
Assuntos:
“...Titanium oxynitride...”
Tratamento termoquímico do titânio auxiliado por plasma de ar - N2 - O2
Dissertação
7
Assuntos:
“...Gate oxynitrides...”
Obtenção de oxinitretos de porta por processamento térmico rápido visando a fabricação de circuitos integrados MOS.
Dissertação
8
Assuntos:
“...Silicon oxynitride...”
Estudo da morfologia e estrutura de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) obtidos pela técnica de PECVD.
Tese
9
Assuntos:
“...Silicon oxynitride...”
Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS.
Tese
10
Assuntos:
“...Silicon oxynitride...”
Estudo de viabilidade de integração de micro-lâmpadas incandescentes com filtros interferenciais.
Tese
11
Assuntos:
“...Silicon oxynitride...”
Obtenção e caracterização de filmes finos de oxido, nitreto e oxinitreto de silicio por deposição ECR-CVD
Dissertação
12
Assuntos:
“...Germanium oxynitride...”
Estabilidade de filmes de GeOxNy crescidos termicamente sobre Ge
Dissertação
13
Assuntos:
“...Oxynitrides...”
Fabricação de células solares MOS utilizando oxinitretos de silício obtidos por processamento térmico rápido (RTP).
Tese
14
Assuntos:
“...Oxynitrides...”
BaSnO3:Fe,N na forma de pós e filmes para fotodegradação de corantes
Tese
15
Assuntos:
“...Silicon oxynitride...”
Desenvolvimento de guias de onda em estrutura pedestal para aplicações em óptica não-linear.
Dissertação