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1
Assuntos:
“...Filmes finos(Deposição química a vapor)...”
Estudo e caracterização de filmes SIPOS para a passivação de dispositivos de potência.
Dissertação
2
Assuntos:
“...Filmes finos (Deposição química a vapor)...”
Estudo e caracterização do processo PECVD-TEOS para a deposição de filmes de óxido de silício e estudo das interfaces.
Tese