Desenvolvimento de um microsensor de pressão intravascular utilizando pós-processamento.

• Ano de defesa: 1999
• Autor(a) principal: Jaramillo Ocampo, Juan Manuel
• Tipo de documento: Tese
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
• Palavras-chave em Português: Micro pressure sensors; Microsensores de pressão
• Link de acesso: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29112024-144701/

Diferentes microdispositivos, como acelerômetros, sensores de pressão, microsistemas fluídicos, etc., têm sido fabricados com êxito usando foundries comerciais, porém, sempre em processos dedicados ou com microusinado de superfície. A estratégiaadotada para a construção destes microdispositivos é denominada de tecnologia de pós-processamento. Esta tecnologia de pós-processamento foi assumida neste trabalho, com o objetivo de se desenvolver um microsensor de pressão a ser posicionado naponta de um cateter. A novidade aqui apresentada corresponde ao fato da micromembrana ser realizada mediante a microusinagem de corpo (bulk micromachinig) deixando-se o menor número de camadas sobre a micromembrana. A foundry comercial escolhidapara se desenvolver o trabalho foi a da AMS, com uma tecnologia CMOS de 0.8\'MICROMETROS\'. O microsensor consiste de uma ponte de Wheatstone, formada mediante difusões de Boro, comuns na construção do fonte e dreno dos transistores P-MOS. Estasdifusões recebem o nome de piezoresistores difundidos. Estes piezoresistores são conectados por metal para formação da ponte. A posição dos piezoresistores na micromembrana, é definida através de um programa de elementos finitoscomercial(ANSYS). A partir das simulações realizadas encontraram-se várias curvas de Sensibilidade vs. Espessura da micromembrana com as quais foram construídos vários protótipos, a partir dos quais o simulador será calibrado. Em suma estetrabalho apresenta a metodologia para o projeto de microsensores de pressão e o desenvolvimento de protótipos usando a tecnologia de pós-processamento após ter recebido os dispositivos de uma foundry qualquer.