Sistema para epitaxia por feixe molecular

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 1988
Autor(a) principal: Ceschin, Artemis Marti
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Link de acesso: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/54/54132/tde-27032015-145656/
Resumo: Este trabalho apresenta a instalação e operação de um sistema de Epitaxia por feixe molecular (EFM). Para tanto, foi necessário um estudo da literatura existente, a qual serviu também posteriormente para a comparação de alguns resultados obtidos. A condição de ultra-alto-vácuo (UHV) da ordem de 5.10-11mbar necessária para o crescimento de filmes de GaAs por EFM foi alcançada bombeando-se o sistema após a utilização de técnicas de limpeza de aço inox (eletropolimento) e desgasificação. As superfícies dos filmes de GaAs obtidos foram examinadas por microscopia ótica, e revelou a existência de: defeitos ovais, defeitos do tipo agulha, regiões de crescimento policristalino, regiões da superfície ricas em Gae interface substrato-filme. Além disso fizemos medidas da mobilidade Hall e alguns espectros de fotoluminescência.