Sensores de filme espesso e sua utilização para sinais mecânicos.

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 1990
Autor(a) principal: Gongora Rubio, Mario Ricardo
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Link de acesso: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19122024-160742/
Resumo: O presente trabalho trata da utilização de técnicas de micro-eletrônica de filme espesso para a implementação de sensores adequados para a aquisição de sinais mecânicos. A tecnologia de filme espesso é apresentada em seus aspectos relevantes para sensores, mostrando os diversos mecanismos de transdução que tornam os resistores de filme espesso adequados para sensoriamento. É analisado o efeito piezo-resistivo dos resistores de filme espesso, do ponto de vista físico e verificada sua utilização para sinais mecânicos, do ponto de vista tecnológico. É proposto utilizar esse efeito para a aquisição de sinais mecânicos. É também sugerido um procedimento de projeto para sensores de resistores de filme espesso, assim como são discutidos sensores de pressão e aceleração, projetados, construídos e testados para este trabalho.