Sensores de filme espesso e sua utilização para sinais mecânicos. - Gongora Rubio, Mario Ricardo (1990)
O presente trabalho trata da utilização de técnicas de micro-eletrônica de filme espesso para a implementação de sensores adequados para a aquisição de sinais mecânicos. A tecnologia de filme espesso é apresentada em seus aspectos relevantes para sensores, mostrando os diversos mecanismos de transdução que tornam os resistores de filme espesso adequados para sensoriamento. É analisado o efeito piezo-resistivo dos resistores de filme espesso, do ponto de vista físico e verificada sua utilização para sinais mecânicos, do ponto de vista tecnológico. É proposto utilizar esse efeito para a aquisição de sinais mecânicos. É também sugerido um procedimento de projeto para sensores de resistores de filme espesso, assim como são discutidos sensores de pressão e aceleração, projetados, construídos e testados para este trabalho.