Estudo do efeito de elevação atípica da transcondutância na região linear de polarização em dispositivos SOI nMOSFETS ultra-submicrométricos.

• Ano de defesa: 2008
• Autor(a) principal: Agopian, Paula Ghedini Der
• Tipo de documento: Tese
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
• Palavras-chave em Português: Circuitos integrados MOS; FinFETs; Gate induced floating body effect; Microeletrônica; SOI technology; Strained transistors; Transconductance second peak
• Link de acesso: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09022009-190025/

Este trabalho apresenta o estudo do efeito de elevação atípica da transcondutância na região linear de polarização devido ao efeito de corpo flutuante induzido pela porta (Gate Induced Floating Body Effect - GIFBE) de transistores da tecnologia SOI nMOSFET. Este estudo foi realizado com base em resultados experimentais e em simulações numéricas, as quais foram essenciais para o entendimento físico deste fenômeno. Além de contribuir com a explicação física deste fenômeno, este trabalho explora o efeito de corpo flutuante em diferentes estruturas (transistor de porta única, transistor de porta gêmea, transistor de múltiplas portas e transistores de canal tensionado), diferentes tecnologias e em função da temperatura (100K a 450K). A partir do estudo realizado em dispositivos SOI de porta única analisouse a influência das componentes da corrente de porta que tunelam através do óxido de porta do dispositivo, o potencial da região neutra do corpo do transistor, a taxa de recombinação de portadores, o impacto da redução da espessura do óxido de porta e também as dimensões físicas do transistor. Na análise feita da redução do comprimento de canal, verificou-se também que o GIFBE tende a ser menos significativo para dispositivos ultra-submicrométricos. Analisou-se também o efeito da elevação atípica da transcondutância para transistores SOI totalmente depletados, para os quais, este efeito ocorre apenas quando a segunda interface está acumulada, para as duas tecnologias estudadas (65nm e 130nm). A análise dos dispositivos de porta gêmea, que tradicionalmente são usados com a finalidade de minimizar o efeito de elevação abrupta de corrente de dreno, mostrou uma redução do GIFBE para este tipo de estrutura quando comparada à de porta única devido ao aumento da resistência série intrínseca à estrutura. O efeito de corpo flutuante também foi avaliado em função da temperatura de operação dos dispositivos. Para temperaturas variando de 100K a 450K, notou-se que o valor do limiar de GIFBE aumentou tanto para temperaturas acima de 300K quanto abaixo da mesma. Quando estes resultados são apresentados graficamente, observa-se que o comportamento do limiar de GIFBE com a temperatura resulta no formato de uma letra C, onde o valor mínimo está a 300K. Este comportamento se deve à competição entre o processo de recombinação e a degradação efetiva da mobilidade. Uma primeira análise do GIFBE em diferentes estruturas de transistores também foi realizada. Apesar dos transistores de canal tensionado apresentarem o efeito para valores menores de tensão de porta, este efeito se manifesta com menor intensidade nestes transistores, devido a alta degradação da mobilidade efetiva apresentada pelo mesmo. Entretanto, quando o foco são os transistores de múltiplas portas, os resultados obtidos demonstram que apesar destes dispositivos terem sido fabricados com dielétrico de porta de alta constante dielétrica, o GIFBE ainda ocorre. Esta ocorrência do GIFBE em FinFETs é fortemente dependente da largura do Fin, da dopagem da região de canal e conseqüentemente do acoplamento das portas laterais com a superior.