Phase transformation and residual stress probed by Raman spectroscopy in diamond-turned single crystal silicon

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Pizani, Paulo Sérgio
Data de Publicação: 2008
Tipo de documento: Artigo
Idioma: eng
Título da fonte: Repositório Institucional da USP (Biblioteca Digital da Produção Intelectual)
Texto Completo: https://doi.org/10.1243/09544054JEM1161
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