Propriedades ópticas e elétricas de filmes multifásicos TiNx/TiOyE Nb-TiNx/TiOy

• Main Author: Morais, Aline Medeiros
• Publication Date: 2022
• Format: Doctoral thesis
• Language: por
• Source: Repositório Institucional da Udesc
• dARK ID: ark:/33523/001300000cj90
• Download full: https://repositorio.udesc.br/handle/UDESC/17285
• topic: Ciência dos materiais

Filmes finos de óxido e de nitreto de titânio com e sem nióbio foram depositados por triodo magnetron sputtering sob substratos de vidro usando um alvo metálico de titânio e um alvo de titânio com insertos de nióbio, numa atmosfera reativa composta de oxigênio e nitrogênio. As propriedades físicas, químicas e morfológicas dos filmes foram medidas pelas técnicas de microscopia eletrônica de transmissão (MET), fluorescência de raios-X (EDX), medição do ângulo de contato, espectrofotometria UV-Vis, espectroscopia de fotoelétrons de raios-X (XPS) e microscopia de força atômica (AFM). Além de medidas de propriedades elétricas por efeito Hall, utilizando o método de van der Pauw. Foram produzidos filmes TIN/TIO, e Nb-TiNx/TiOy que apresentam propriedades de transparência ótica e baixa resistividade elétrica, simultaneamente. Os resultados de MET indicam a formação da estrutura anatase do TiO2 para os filmes sem dopagem e uma mistura de fases anatase e rutilo para os filmes dopados com nióbio. Há redução significativa no ângulo de contato após a irradiação dos filmes com luz UV. A dopagem com nióbio resultou em um ligeiro aumento na energia de gap óptico dos filmes devido ao efeito Burstein-Moss. Os resultados permitem concluir que os filmes apresentam hidrofilicidade fotoinduzida, podendo ser empregados em aplicações de fotocatálise e autolimpantes, de forma semelhante ao filme de TiO2 sem dopagem