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Assuntos:
“...Magnetrons...”
Efeito da pressão em filmes finos de ZnO:Al por RF Magnetron sputtering reativo
Dissertação
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Assuntos:
“...Magnetrons...”
Crescimento de filmes finos cristalinos de dióxido de titânio por sistemas magnetron sputtering.
Dissertação
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Assuntos:
“...Magnetrons...”
Estudos em plasmas gerados em sistema magnetron para deposição de nitreto de alumínio em baixa temperatura.
Dissertação
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Assuntos:
“...Magnetrons...”
Fabricação e caracterização de sensores baseados em ondas acústicas de superfície
Dissertação
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Assuntos:
“...Magnetrons...”
Influência do teor de Hf em filmes finos de Zr e ZrN depositados por magnetron sputtering
Dissertação
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Assuntos:
“...Magnetrons...”
Influência da temperatura do substrato na estrutura de filmes finos de ZrxSi1-XN depositados por magnetron sputtering reativo
Dissertação