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Assuntos:
“...Magnetron sputtering reativo...”
Deposição e caracterização de filmes finos de ZrMoN por magnetron sputtering reativo
Dissertação
2
Assuntos:
“...Magnetron sputtering reativo...”
Influência do teor de Hf em filmes finos de Zr e ZrN depositados por magnetron sputtering
Dissertação
3
Assuntos:
“...Magnetron sputtering reativo...”
Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo
Dissertação
4
Assuntos:
“...Magnetron sputtering reativo...”
Deposição e caracterização de filmes finos TaA1N por magnetron sputtering reativo
Dissertação
5
Assuntos:
“...Magnetron sputtering reativo...”
Influência da temperatura do substrato na estrutura de filmes finos de ZrxSi1-XN depositados por magnetron sputtering reativo
Dissertação
6
Assuntos:
“...Magnetron sputtering reativo...”
Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico.
Dissertação