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Assuntos: “...HMDS...”

Equipamento versátil para teste de mini-estruturas utilizadas como mini-lab.

Publicado em 2016
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Dissertação

2

Assuntos: “...[pt] HMDS...”

[en] SYNTHESIS AND STRUCTURAL, MECHANICAL AND TRIBOLOGICAL CHARACTERIZATION OF THIN FILMS DEPOSITED BY PECVD FROM ORGANOSILICON

Publicado em 2020
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Tese