Buscas alternativas:
hexamethyldisilazane » hexamethyldisiloxane (Expandir a busca), hexametildisiloxano (Expandir a busca)
hexamethyldisilazane » hexamethyldisiloxane (Expandir a busca), hexametildisiloxano (Expandir a busca)
1
Assuntos:
“...[en] HEXAMETHYLDISILAZANE...”
[pt] PROPRIEDADES ESTRUTURAIS E MECÂNICAS DE FILMES FINOS DEPOSITADOS A PARTIR DE HEXAMETILDISSILAZANO POR PECVD
Tese
2
Assuntos:
“...Hexamethyldisilazane...”
Filmes finos depositados pela técnica de implantação iônica por imersão em plasma e deposição (IIIPD), utilizando o monômero HMDSN e os gases argônio, hélio e nitrogênio
Dissertação
3
Assuntos:
“...Hexamethyldisilazane...”
Construção de equipamento de plasma para obtenção de filmes finos e compósitos úteis na fabricação de sensores.
Tese