Detalhes bibliográficos
| Ano de defesa: |
2002 |
| Autor(a) principal: |
Cirino, Giuseppe Antonio |
| Orientador(a): |
Não Informado pela instituição |
| Banca de defesa: |
Não Informado pela instituição |
| Tipo de documento: |
Tese
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| Tipo de acesso: |
Acesso aberto |
| Idioma: |
por |
| Instituição de defesa: |
Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
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| Programa de Pós-Graduação: |
Não Informado pela instituição
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| Departamento: |
Não Informado pela instituição
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| País: |
Não Informado pela instituição
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| Palavras-chave em Português: |
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| Link de acesso: |
https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14112024-143618/
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Resumo: |
Neste trabalho foram fabricados vários tipos de elementos ópticos difrativos (EODs) a partir de etapas de processos de fabricação de microssistemas, tais como fotolitografia e corrosão por plasma. Para tanto, foram desenvolvidas etapas de processos de fabricação, e foi investigado o emprego de novos materiais, tal como filme fino de carbono amorfo hidrogenado (a:C-H). Dentre os dispositivos fabricados, estão EODs com modulação de fase, de amplitude e de ambos (modulação complexa), operando por transmissão ou por reflexão. Materiais como o silício monocristalino, o dióxido de silício (silica fundida), filme fino a:C-H, polímeros tipo Novolak e polimetilmetacriato (PMMA) foram empregados. A fabricação do EOD com modulação complexa mostrou o sucesso do projeto e implementação de um EOD ainda não reportado na literatura. Este elemento emprega filme a:C-H para modulação da fase e um filme refletivo de alumínio para a modulação da amplitude de uma frente de onda, incidente no dispositivo. Com esta abordagem pode-se obter imagens mais ricas em detalhes, com elevada eficiência e baixo nível de ruído. |
