Aspectos da formação do siliceto de titânio em ambiente de nitrogênio: transformações de fase, cinética, formação em duas etapas e rugosidade.

• Ano de defesa: 1994
• Autor(a) principal: Laganá, Armando Antonio Maria
• Tipo de documento: Tese
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
• Palavras-chave em Português: Siliceto de titânio; Titanium silicide
• Link de acesso: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-17122024-120515/

O objetivo foi estudar a formação do siliceto de titânio abrangendo diversos aspectos como: transformações de fases envolvidas, cinética, formação em duas etapas em ambiente de nitrogênio visando sua aplicação na estrutura salicide e estudo da influência da taxa de subida da temperatura na rugosidade do siliceto de titânio. Os recozimentos foram realizados por rtp. Foram utilizadas as técnicas de rbs, xrd, afm e sem. Obtivemos silicetos a partir da deposição de 150 nanômetros de titânio e recozimentos que variaram entre 557°C. Entre 500 e 600°C prevaleceram fases mais ricas em titânio; a 650°C com tempos superiores a 64 segundos predomina a fase de siliceto de titânio C49; no intervalo entre 110 e 225 segundos ocorre a transformação de fase do siliceto de titânio C49 para o C54. Na formação do siliceto em duas etapas em ambiente de nitrogênio, verificamos que quando a primeira etapa é realizada a 700°C por 60 segundos, obtemos após o segundo recozimento realizado a 900°C valores mais baixos para a resistência por quadrado. A redução da taxa de subida da temperatura causou uma diminuição significativa da rugosidade indicando que o número de nucleação ocorrida foi maior. A presença de oxigênio no ambiente de recozimento pode também diminuir a rugosidade.