Instrumentação eletrônica de apoio para um sistema de epitaxia por feixes moleculares

• Ano de defesa: 1994
• Autor(a) principal: Arakaki, Haroldo
• Tipo de documento: Dissertação
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
• Palavras-chave em Português: Analog to digital conversion; Aquisição de dados; Controle de temperatura; Conversor AD; Conversor DA; Data acquisition; Digital to analog conversion; Epitaxia por feixes moleculares; Interface para PC; Molecular beam epitaxy; Motor de passo; PC interface; Step motor; Temperature control; Z80
• Link de acesso: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/54/54132/tde-06102008-114423/

Neste trabalho é apresentado o desenvolvimento de instrumentação eletrônica para controle e automação de um sistema de crescimento de semicondutores por Epitaxia por Feixes Moleculares. Envolve uma variedade de circuitos analógicos e digitais como: um módulo de aquisição de dados e controle baseado em uma UCP Z-80, contendo algumas interfaces digitais e analógicas multiplexadas, e comunicando-se com um microcomputador através de uma interface serial. Envolve ainda o desenvolvimento de controladores de temperatura analógicos tipo P.I.D., atuação por motores de passo e circuitos de condicionamento de sinal.