Efeito do carbono na formação de defeitos em silício Czochralski

• Ano de defesa: 1991
• Autor(a) principal: Furtado, Wagner Wilson
• Tipo de documento: Tese
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
• Palavras-chave em Português: Carbon; Carbono; Cz-Silicon; diffuse scattering.; Espalhamento difuso.; Oxigênio; Oxygen; Silício-Cz
• Link de acesso: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-06082013-103439/

Neste trabalho é estudado o efeito do carbono na formação de defeitos em silício Czochralski crescido na direção em amostras submetidas a tratamentos térmicos variados. Medidas de espalhamento difuso de raios-X, espectroscopia de infravermelho, medidas de resistividade, topografia de raios-X e microscopia eletrônica de transmissão mostraram que os defeitos nas amostras \"como crescidas\" podem ser relacionados com os microdefeitos tipo B. Tratamento térmico a 450ºC mostrou a presença de vacâncias nas amostras com baixa concentração de carbono enquanto que nas amostras com alta concentração de carbono ocorre a inibição da formação dos doadores térmicos (\"Thermal Donors - TD\"). Os resultados confirmam os modelos de Newman e Mathiot para a geração dos TD. Para tratamento térmico a 650ºC o carbono promove a formação de Novos Doadores (\"New Donors - ND\"). Os resultados mostram que estes defeitos são de natureza predominante de vacância e concordam com os modelos de geração que envolvem átomos de oxigênio substitucional. Os doadores observados a 550ºC puderam ser relacionados aos Novos Doadores Térmicos (\"New Thermal Donors - NTD\") observados por Kamiura et al..