Processamento com laser de femtossegundos em diamond-like carbon

• Ano de defesa: 2019
• Autor(a) principal: Almeida Filho, Flavio Pinto de
• Tipo de documento: Dissertação
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
• Palavras-chave em Português: Diamond like carbon; Incubação; Incubation; Microfabricação; Micromachine
• Link de acesso: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-11052020-134154/

Neste trabalho investigamos o processo de estruturação em filmes de Diamond-like Carbon (DLC) através do uso de pulsos laser de femtossegundos (100 fs, 800 nm, 1 KHz e 5 MHz). Determinamos a fluência de limiar para estruturação do DLC como sendo da ordem de 1 J/cm2 para pulso único e de aproximadamente 0,1 J/cm2 quando a amostra é submetida a um grande número de pulsos (> 104 pulsos). Por meio da espectroscopia Raman determinamos as intensidades de pico das bandas D e G, características do DLC, e a partir da sua razão foi possível estimar uma fração de hibridações sp3 na amostra de 70 %. Identificamos ainda a ocorrência do processo de grafitização nas regiões onde houve a irradiação laser. Finalmente, foi possível também observar a formação de pequenas estruturas assimétricas, com diâmetro médio de 1,5 μm e espaçamento de 3 μm, geradas por uma fluência de 0,13 J/cm2. Por meio da espectroscopia de raio X por dispersão (EDS), concluímos que tais estruturas são geradas pelo processo de fusão do substrato facilitada pela interação da luz com o filme de DLC.