Um algoritmo para comando de uma mesa de microposicionamento angular usando interferometria

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 1997
Autor(a) principal: Santos, Daniela Lara dos
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Link de acesso: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18135/tde-19072024-095047/
Resumo: Esse trabalho descreve o desenvolvimento de um sistema de monitoramento de microinclinação capaz de posicionar peças ou outros dispositivos em máquinas precisão e ultra-precisão. A inclinação da mesa tem acionamento através de microposicionadores (por exemplo, atuadores piezoelétricos) cujo deslocamento é monitorado por um interferômetro de Fizeau. A imagem da peça é analisada usando a técnica de crescimento de regiões, a qual calcula o número e a direção das franjas. O algoritmo é aplicado para fornecer o sinal de realimentação para os atuadores para a correção da posição da mesa. Este procedimento pode ser usado para componentes de usinagem de ultra-precisão e para o controle durante o processo obtendo alto nível de precisão em usinagem de ultra-precisão