Alayo Chávez, M. I. (2000). Estudo e otimização das propriedades estruturais, ópticas e elétricas de películas de SiOxNy depositadas por PECVD para aplicações em dispositivos MOS, microestruturas e guias de onda.
Referência de acordo com a norma ChicagoAlayo Chávez, Marco Isaías. Estudo E Otimização Das Propriedades Estruturais, ópticas E Elétricas De Películas De SiOxNy Depositadas Por PECVD Para Aplicações Em Dispositivos MOS, Microestruturas E Guias De Onda. 2000.
Referência de acordo com a norma MLAAlayo Chávez, Marco Isaías. Estudo E Otimização Das Propriedades Estruturais, ópticas E Elétricas De Películas De SiOxNy Depositadas Por PECVD Para Aplicações Em Dispositivos MOS, Microestruturas E Guias De Onda. 2000.
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