Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS.

• Ano de defesa: 2002
• Autor(a) principal: Guimarães, Marcelo Silva
• Tipo de documento: Dissertação
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
• Palavras-chave em Português: buckling; filmes finos; flambagem; mechanical properties; MEMS; microelectromechanical systems; microscopia nomarski; microssistemas; nomarski microscopy; propriedades mecânicas propriedades térmicas; thermophysical properties; thin films
• Link de acesso: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/

Um fator importante para o desenvolvimento de projetos de microssistemas é o conhecimento de propriedades termomecânicas dos materiais e a compreensão dos mecanismos de falhas. Este trabalho estuda o comportamento mecânico de microvigas atuadas termicamente e propõem um método para ser utilizado na caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos. Fabricou-se vigas de Oxinitreto de Silício em que se aplicou a microscopia Nomarski para observar a deformação e a ocorrência do fenômeno de flambagem.