Zambom, L. d. S. (2000). Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente.
Referência de acordo com a norma ChicagoZambom, Luis da Silva. Obtenção De Filmes De Nitreto De Silício Por Deposição Química Assistida Por Plasma Acoplado Indutivamente. 2000.
Referência de acordo com a norma MLAZambom, Luis da Silva. Obtenção De Filmes De Nitreto De Silício Por Deposição Química Assistida Por Plasma Acoplado Indutivamente. 2000.
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