Viana, C. E. (1998). Caracterização elétrica de filmes finos de SiO2 - TEOS depositados por PECVD.
Referência de acordo com a norma ChicagoViana, Carlos Eduardo. Caracterização Elétrica De Filmes Finos De SiO2 - TEOS Depositados Por PECVD. 1998.
Referência de acordo com a norma MLAViana, Carlos Eduardo. Caracterização Elétrica De Filmes Finos De SiO2 - TEOS Depositados Por PECVD. 1998.
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