Silva, C. M. d. A. (1994). Estudo e determinação de um processo fotolitográfico utilizando fotorresiste positivo, visando a aplicação industrial.
Referência de acordo com a norma ChicagoSilva, Cláudio Morais de Assis. Estudo E Determinação De Um Processo Fotolitográfico Utilizando Fotorresiste Positivo, Visando a Aplicação Industrial. 1994.
Referência de acordo com a norma MLASilva, Cláudio Morais de Assis. Estudo E Determinação De Um Processo Fotolitográfico Utilizando Fotorresiste Positivo, Visando a Aplicação Industrial. 1994.
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