Yamamoto, R. K. (1992). Estudo e caracterização da corrosão de silício com plasma de CBrF3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de Langmuir.
Referência de acordo com a norma ChicagoYamamoto, Roberto Katsuhiro. Estudo E Caracterização Da Corrosão De Silício Com Plasma De CBrF3 E Medidas De Propriedades Do Plasma Com Sondas De Langmuir. 1992.
Referência de acordo com a norma MLAYamamoto, Roberto Katsuhiro. Estudo E Caracterização Da Corrosão De Silício Com Plasma De CBrF3 E Medidas De Propriedades Do Plasma Com Sondas De Langmuir. 1992.
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