Detalhes bibliográficos
| Ano de defesa: |
1999 |
| Autor(a) principal: |
Góngora Rubio, Mario Ricardo |
| Orientador(a): |
Não Informado pela instituição |
| Banca de defesa: |
Não Informado pela instituição |
| Tipo de documento: |
Tese
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| Tipo de acesso: |
Acesso aberto |
| Idioma: |
por |
| Instituição de defesa: |
Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
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| Programa de Pós-Graduação: |
Não Informado pela instituição
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| Departamento: |
Não Informado pela instituição
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| País: |
Não Informado pela instituição
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| Palavras-chave em Português: |
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| Link de acesso: |
https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02122024-154421/
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Resumo: |
A meta desta pesquisa é a de acessar a tecnologia MST - Micro System Technology - de forma híbrida. Neste trabalho propõe-se uma tecnologia híbrida usando LTCC - Low Temperature Cofire Ceramic - de cerâmicas verdes a qual associada à tecnologia de filmes espessos e silício, surge como uma alternativa interessante, viável e barata para a fabricação de dispositivos MEMS - Micro Electro-Mechanical Systems - e microsistemas em meso-escala. Os objetivos básicos propostos para serem realizados neste trabalho são os seguintes: - Desenvolvimento de uma tecnologia para meso-sistemas utilizando a tecnologia LTCC usada correntemente em circuitos híbridos multicamada para MCM - Multi Chip Module. - Utilização desta tecnologia, associada às técnicas MEMS tradicionais para a implementação de sensores e atuadores híbridos, com possíveis aplicações na área de micro-fluídica. - Implementação e caracterização dos seguintes sensores e atuadores: - sensor de Proximidade; - Dispositivos fluídicos e sensor de vazão; - Microválvula eletromagnética. Esta área encontra-se em desenvolvimento intenso e os resultados iniciais obtidos mostram que a forma híbrida de realizar meso-sistemas apresenta um futuro promissor. |
