Dispositivo para análise e caracterização de materiais semicondutores utilizados como sensores de gás

• Ano de defesa: 2021
• Autor(a) principal: Rossetto, Leandro Tedesco
• Orientador(a): Giulian, Raquel
• Tipo de documento: Dissertação
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Palavras-chave em Português: Resistividade elétrica; Condutividade térmica; Filmes finos; Semicondutores
• Palavras-chave em Inglês: Electrical resistivity; Bandgap; Thermal conductivity; Seebeck coefficient; Fourpoint probe; Thin films; Semiconductors
• Link de acesso: http://hdl.handle.net/10183/229443

O trabalho apresentado nessa dissertação consiste fundamentalmente no estudo (projeto), desenvolvimento e teste de um dispositivo eletrônico destinado à obtenção de parâmetros elétricos e térmicos, como resistividade elétrica, bandgap, condutividade térmica e coeficiente de Seebeck, baseando-se em técnicas de aquisição por quatro pontas e processamento digital dos sinais analógicos adquiridos. A ferramenta como um todo é destinada à medição desses parâmetros sobre filmes finos (nanométricos) semicondutores, especialmente destinados para análise e desenvolvimento de sensores de gás, ou de termo geradores. O dispositivo permite uma ampla gama de recursos, possibilitando variações de temperatura e pressão sobre a amostra, com o recurso da inserção de gases específicos (ou misturas) em uma câmara selada dedicada para as operações. Detalhes do equipamento são descritos ao longo do trabalho, onde são relatadas as peculiaridades de uso e tolerâncias nas medidas. Testes preliminares, com o intuito de demonstrar todas as suas ferramentas e especificidades, demonstraram o ERAD-STF (Electrical Resistivity Analyzer for Semiconductor Thin Films) ser adequado para as aplicações propostas, indicando medição precisa das propriedades elétricas de filmes finos, como de In1- xGaxSb, irradiados ou não com íons pesados, de materiais condutores e de semicondutores em geral.