Estudo da estabilidade de nanoestruturas de Ag E Au sob irradiação de elétrons

• Ano de defesa: 2019
• Autor(a) principal: Konrad, Bárbara
• Orientador(a): Fichtner, Paulo Fernando Papaleo
• Tipo de documento: Dissertação
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Palavras-chave em Português: Microeletrônica; Eletrons
• Palavras-chave em Inglês: Electron irradiation; Nanoparticles; Sputtering
• Link de acesso: http://hdl.handle.net/10183/197468

A formação e modificação de nanoestruturas têm atraído grande interesse acadêmico e tecnoló- gico em função de suas possibilidades de aplicação e inovação. Portanto, técnicas que permitam produzir e trabalhar com essas estruturas são de grande importância para o desenvolvimento desta área de estudo e suas possíveis aplicações. A irradiação com feixes de elétrons oferece um meio para obter, modificar e manipular esses materiais, porém o uso da técnica, bem como o estudo e compreensão da interação dos elétrons com a matéria ainda precisam ser refinados. Este trabalho apresenta um estudo sobre a estabilidade e a formação de nanopartículas (NPs) de Au e Ag em substratos de Si 3 N 4 submetidos à irradiação com elétrons energéticos (120, 160 e 200 keV). As amostras, preparadas por implantação iônica e deposição catódica, foram caracterizadas por meio das técnicas de Espectrometria de Retroespalhamento Rutherford (RBS) e Microscopia Eletrônica de Transmissão. Os resultados mostram que a irradiação promove processos de nucleação, esferolização e crescimento de NPs de Au e apenas de esferolização e desbaste (sputtering) das NPs de Ag com dependência na energia do feixe de elétrons incidente. Os fenômenos observados são discutidos com base em efeitos de superfície e processos de sputtering induzidos pela irradiação eletrônica, bem como a influência das diferentes energias de irradiação em relação a seção de choque de deslocamento e na energia de ativação da difusão superficial dos elementos presentes nas amostras. Através de um modelo proposto para descrevera perda de material das NPs de Ag, foi estimada uma energia de deslocamento para este elemento: EAgd=3,25±0,28eV. Esta energia pode ser tratada como um parâmetro físico fundamental para NPs de Ag, pois, a partir de relações universais, outras quantidades físicas podem ser determinadas em função de Ed.