Caracteristicas dos filmes finos de Si:H-a obtidos por pulverização catodica ("RF sputtering")

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 1991
Autor(a) principal: Ramos, Airton
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: [s.n.]
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Link de acesso: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1582953
Resumo: Orientador: Alaide P. Mammana