Tatsch, P. J. (1988). Estudo da viabilidade da oxidação do silicio por plasma em reator planar.
Referência de acordo com a norma ChicagoTatsch, Peter Jürgen. Estudo Da Viabilidade Da Oxidação Do Silicio Por Plasma Em Reator Planar. 1988.
Referência de acordo com a norma MLATatsch, Peter Jürgen. Estudo Da Viabilidade Da Oxidação Do Silicio Por Plasma Em Reator Planar. 1988.
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