Obtenção de filmes finos de cobre por gaiola catódica em vidro e tecido analisando o jato interno e externo variando a espessura da tampa e os parâmetros de deposição

• Ano de defesa: 2018
• Autor(a) principal: Fernandes, Fernanda de Melo
• Orientador(a): Costa, Thercio Henrique de Carvalho
• Tipo de documento: Dissertação
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Programa de Pós-Graduação: PROGRAMA DE PÓS-GRADUAÇÃO EM ENGENHARIA TÊXTIL
• País: Brasil
• Palavras-chave em Português: Deposição por plasma; Gaiola catódica; Filme fino de cobre; Vidro; Poliamida e poliéster
• Área do conhecimento CNPq: CNPQ::ENGENHARIAS: ENGENHARIA TÊXTIL
• Link de acesso: https://repositorio.ufrn.br/jspui/handle/123456789/25031

A deposição de filmes finos por plasma melhora várias propriedades físicas, químicas e biológicas de superfícies que contribuem para o enobrecimento dos materiais. O objetivo do trabalho é estudar a cinética de deposição de filmes finos de cobre em substratos de vidro e tecido, utilizando a técnica da gaiola catódica, alterando a espessura da tampa da gaiola e sua relação com a variação da potência do tratamento. Devido à alta temperatura no interior da gaiola, as amostras de tecidos, foram fixadas no flange superior do reator, já o vidro foi posicionado tanto dentro quanto fora da gaiola, sendo assim, será analisado a deposição do jato interno e externo da gaiola catódica. Filmes finos de cobre caracterizam-se como bom condutor elétrico e térmico, o que justifica seu uso em microeletrônica, e segundo a U.S. Environmental Agency (EPA) existem 282 tipos de ligas de cobre bactericidas, habilitando sua utilização em ambientes estéril. Assim, realizou-se deposições de filmes finos de cobre sobre amostras de vidro, poliamida e poliéster, variando os parâmetros do processo e a espessura da tampa da gaiola. Realizou-se a caracterização por difração de Raio-X (DRX), Espectroscopia de Fluorescência Raios X (FRX), Microscopia Eletrônica de Varredura com Emissão de Campo (MEV - FEG) com Microanálise por Espectroscopia por Energia Dispersiva (EDS), Transmitância e Espectroscopia de Fotoelétrons Excitados por Raios-X (XPS). Os resultados mostraram que, após o tratamento, todas as amostras, tanto vidro como tecido, obtiveram cobre em sua estrutura, ou seja, foi possível realizar deposição nos substratos independentemente da localização do mesmo, em relação a gaiola. No entanto, as amostras internas obtiveram maior taxa de deposição.