Determinação das variações de volume na superfície de silício implantado com altas doses de O+, através de observações por microscopia óptica de interferência

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 1990
Autor(a) principal: Giles Antunez de Mayolo, Luis Felipe
Orientador(a): Dumke, Vicente Roberto, 1940-
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Não Informado pela instituição
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Link de acesso: https://hdl.handle.net/1884/36957
Resumo: Orientador: Vicente Roberto Dumke