Caracterização tribológica de filmes finos de DLC-Si processados por PACVD.

• Ano de defesa: 2005
• Autor(a) principal: Silva, Carlos Wagner Moura e
• Tipo de documento: Dissertação
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Instituição de defesa: Programa de Pós-Graduação em Engenharia de Materiais. Rede Temática em Engenharia de Materiais, Pró-Reitoria de Pesquisa e Pós-Graduação, Universidade Federal de Ouro Preto.
• Palavras-chave em Português: Carbono; Engenharia de superfície; Filmes finos - propriedades mecânicas; Tribologia
• Link de acesso: http://www.repositorio.ufop.br/handle/123456789/3254

A presente dissertação de mestrado aborda a caracterização mecânica e tribológica de filmes de carbono tipo diamante com silício incorporado (silicon-incorporated diamond-like carbon - DLC-Si) sobre substratos macios. Para isso foram depositados filmes duros de DLC-Si sobre substratos de aço inoxidável austenítico (DLC-Si/inox) e policarbonato (DLC-Si/PC), pela técnica de rf-PACVD, com diferentes teores de silano em mistura silano + metano (SiH 4+CH4 ). A caracterização dos conjugados foi realizada por meio das técnicas de nanopenetração instrumentada tipo carga/descarga, aderência por riscamento e por penetração no plano, perfilometria e microscopia de força atômica. Os resultados obtidos mostraram que a variação do teor de Si incorporado nos filmes de DLC não influenciou significativamente a rugosidade ou o módulo de elasticidade efetivo dos filmes. Contudo, para o conjugado DLC-Si/inox, o aumento do teor de silício melhorou a adesão prática dos filmes aos substratos, mantendo elevadas as suas durezas, sugerindo assim uma melhora nas propriedades tribológicas dos conjugados. Já para os conjugados DLC-Si/PC, os resultados obtidos mostram que para a caracterização mecânica destes à penetração faz-se necessário o uso de cargas inferiores a 2mN ou recursos metodológicos que permitam eliminar o efeito do substrato na resposta mecânica do conjugado