Caracterização de filmes de óxido de nióbio por elipsometria

• Ano de defesa: 2022
• Autor(a) principal: Nunes, Nayara Ferreira
• Tipo de documento: Dissertação
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Palavras-chave em Português: Nióbio; Óxido de nióbio; Filme anódico; Elipsometria; Filmes de óxido anódico de nióbio; Técnica de elipsometria; Engenharia Metalúrgica; Produção intelectual; Niobium; Niobium oxide; Anodic film; Ellipsometry
• Link de acesso: http://app.uff.br/riuff/handle/1/26904

Devido à grande variedade de aplicações em diversos setores, o nióbio se tornou um elemento de grande importância para o desenvolvimento tecnológico em áreas estratégicas e o Brasil destaca­se neste contexto por deter as maiores reservas mundiais. Dentre as principais características desse material, podemos citar a alta resistência à corrosão, devido ao crescimento espontâneo de um filme fino de óxido de nióbio com espessura variando entre 4 e 6 nm sobre a superfície do nióbio metálico em condições atmosféricas. Uma das formas de obtenção de filmes finos, com espessura de forma controlada, é através da oxidação anódica. O presente trabalho tem como objetivo promover, através da técnica de elipsometria, a caracterização de propriedades ópticas para diferentes espessuras de filmes de óxido anódico de nióbio. O estudo é divido nas etapas de preparação metalográfica da superfície, verificação do padrão de superfície por microscopia confocal, caracterização elipsométrica do conjunto nióbio metálico e óxido natural, que será usado como substrato, crescimento dos filmes de óxido anódico de nióbio e, por fim, caracterização elipsométrica destes filmes. Foi verificado que a espessura do filme apresenta uma relação linear com a voltagem aplicada, assim como encontrado em diversos estudos. Após análise dos dados e ajuste entre as curvas medidas e as obtidas por modelagem computacional foram obtidos resultados, para índice de refração e coeficiente de extinção, correspondentes aos encontrados nas literaturas para o óxido de nióbio na sua forma mais estável: Nb2O5. Contudo, não é possível afirmar que o filme seja composto em sua totalidade por esta forma do óxido.