Propriedades ópticas e elétricas de filmes multifásicos TiNx/TiOyE Nb-TiNx/TiOy

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 2022
Autor(a) principal: Morais, Aline Medeiros
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Tese
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Não Informado pela instituição
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Link de acesso: https://repositorio.udesc.br/handle/UDESC/17285
Resumo: Filmes finos de óxido e de nitreto de titânio com e sem nióbio foram depositados por triodo magnetron sputtering sob substratos de vidro usando um alvo metálico de titânio e um alvo de titânio com insertos de nióbio, numa atmosfera reativa composta de oxigênio e nitrogênio. As propriedades físicas, químicas e morfológicas dos filmes foram medidas pelas técnicas de microscopia eletrônica de transmissão (MET), fluorescência de raios-X (EDX), medição do ângulo de contato, espectrofotometria UV-Vis, espectroscopia de fotoelétrons de raios-X (XPS) e microscopia de força atômica (AFM). Além de medidas de propriedades elétricas por efeito Hall, utilizando o método de van der Pauw. Foram produzidos filmes TIN/TIO, e Nb-TiNx/TiOy que apresentam propriedades de transparência ótica e baixa resistividade elétrica, simultaneamente. Os resultados de MET indicam a formação da estrutura anatase do TiO2 para os filmes sem dopagem e uma mistura de fases anatase e rutilo para os filmes dopados com nióbio. Há redução significativa no ângulo de contato após a irradiação dos filmes com luz UV. A dopagem com nióbio resultou em um ligeiro aumento na energia de gap óptico dos filmes devido ao efeito Burstein-Moss. Os resultados permitem concluir que os filmes apresentam hidrofilicidade fotoinduzida, podendo ser empregados em aplicações de fotocatálise e autolimpantes, de forma semelhante ao filme de TiO2 sem dopagem