Minimização da energia de deformação de filmes finos com substratos espessos

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 2009
Autor(a) principal: Nery, Fábio
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Não Informado pela instituição
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Link de acesso: https://repositorio.udesc.br/handle/UDESC/11925
Resumo: O objetivo deste trabalho é a obtenção de um modelo tridimensional, que descreva as tensões que surgem em filmes finos depositados em substratos espessos planos. Para isto é utilizado o método da minimização da energia de deformação da amostra (filme fino/substrato), já descrito e utilizado na literatura para uma descrição unidimensional do problema. A vantagem deste método é sua maior simplicidade em relação a uma abordagem tensorial do problema, uma vez que envolve uma grandeza escalar (energia de deformação) de identificação mais simples que as diversas componentes de um tensor de tensões. Após a apresentação do problema físico e da metodologia, é feita a aplicação a duas situações de interesse: para uma amostra submetida a valores de tensão menos elevados, adquirindo uma forma proximadamente esférica e para uma amostra submetida a valores mais elevados de tensão, adquirindo uma forma aproximadamente cilíndrica. Nestes dois casos se obteve uma fórmula que relaciona a linha de tensão do filme com a curvatura da amostra, que é então comparada com outras formulações.