Influência da temperatura de deposição nas propriedades de filmes finos de nitreto de alumínio obtidos por magnetron sputtering
| Ano de defesa: | 2020 |
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| Autor(a) principal: | |
| Outros Autores: | , |
| Orientador(a): | |
| Banca de defesa: | |
| Tipo de documento: | Dissertação |
| Tipo de acesso: | Acesso aberto |
| Idioma: | por |
| Instituição de defesa: |
2020
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| Programa de Pós-Graduação: |
Não Informado pela instituição
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| Departamento: |
Não Informado pela instituição
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| País: |
Não Informado pela instituição
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| Link de acesso: | https://archivum.grupomarista.org.br/pergamumweb/vinculos/00009b/00009b91.pdf |