Detalhes bibliográficos
| Ano de defesa: |
1989 |
| Autor(a) principal: |
Jayr de Amorim Filho |
| Orientador(a): |
Não Informado pela instituição |
| Banca de defesa: |
Não Informado pela instituição |
| Tipo de documento: |
Dissertação
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| Tipo de acesso: |
Acesso aberto |
| Idioma: |
por |
| Instituição de defesa: |
Instituto Tecnológico de Aeronáutica
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| Programa de Pós-Graduação: |
Não Informado pela instituição
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| Departamento: |
Não Informado pela instituição
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| País: |
Não Informado pela instituição
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| Palavras-chave em Português: |
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| Link de acesso: |
http://www.bd.bibl.ita.br/tde_busca/arquivo.php?codArquivo=1478
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Resumo: |
Neste trabalho são apresentados os resultados de investigações realizadas em uma descarga de rádio-frequência acoplada indutivamente, operando na faixa de pressão de 1 mtorr a 200 mtorr de argônio, com potências de 50 W a 400 W e frequência de 11,41 MHz. Inicialmente foi feito um estudo da ruptura do gás seguido da análise de um modelo teórico para a descarga. Dois modos de operação da descarga foram identificados, modo E e modo H. Através de sonda simples e sonda dupla caracterizamos as propriedades da descarga operando nos distintos modos. A transição entre os modos da descarga foi caracterizada através de curvas de variação da temperatura de elétrons e densidade de plasma em função da pressão do gás e potência de RF. |
