Avaliação do comportamento elétrico de capacitores MOS em altas temperaturas

• Ano de defesa: 2008
• Autor(a) principal: Ziliotto, A. P. B.
• Tipo de documento: Dissertação
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Instituição de defesa: Centro Universitário da FEI, São Bernardo do Campo
• Palavras-chave em Português: Capacitor
• Link de acesso: https://repositorio.fei.edu.br/handle/FEI/412

Este trabalho apresenta o estudo do comportamento do capacitor da tecnologia MOS por meio da análise da curva característica da capacitância em função da tensão de polarização aplicada à porta do dispositivo, operando em alta freqüência e exposto a temperaturas de até 300ºC. É feita a variação de algumas características físicas do capacitor MOS, como concentração de dopantes que compõe o substrato do dispositivo, o tipo do material de porta e de substrato, com o objetivo de verificar os efeitos provocados em sua curva característica C-V e analisar as tendências de comportamento resultantes na região de inversão do capacitor, quando operando em altas temperaturas. Os resultados obtidos por meio de simulações numéricas bidimensionais demonstram a importância da escolha cuidadosa dos materiais e dopagens utilizados em cada região da estrutura MOS para que a mesma seja apropriada para operar em temperaturas elevadas sem que haja a degeneração de suas características elétricas, principalmente na região de inversão operando em alta freqüência. Apresentamos ainda resultados experimentais que confirmam as tendências observadas no comportamento do capacitor MOS em altas temperaturas obtidas através das simulações numéricas, possibilitando a explicação dos efeitos físicos que surgem neste tipo de estrutura quando submetida a temperaturas na faixa de 27ºC a 300ºC, como é o caso do estreitamento da faixa proibida e aumento significativo da concentração intrínseca do substrato de silício que influi diretamente no valor total da capacitância medida na região de inversão da estrutura MOS estudada.