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Influência dos parâmetros de deposição de RF Magnetron Sputtering na otimização das propriedades físico-químicas de filmes finos de óxido litiado ternário depositado sobre substrat...

Publicado em 2023
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Tese

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Filmes finos de óxidos ternários litiados Li(NiCoMn)O² depositados por RF magnetron sputtering

Publicado em 2024
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Dissertação