RF capacitively coupled plasmas in N2-H2 mixtures

Bibliographic Details
Main Author: Mahjoub, A.
Publication Date: 2012
Other Authors: Gouveia, A., Carrasco, N., Pintassilgo, C. D., Marques, L., Ramos, Marta M. D., Alves, L. L., Cernogora, G.
Language: eng
Source: Repositórios Científicos de Acesso Aberto de Portugal (RCAAP)
Download full: http://hdl.handle.net/1822/20138
Summary: Comunicação em Poster
id RCAP_ed27d9d9b0874db216298fdeb1c62a0b
oai_identifier_str oai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/20138
network_acronym_str RCAP
network_name_str Repositórios Científicos de Acesso Aberto de Portugal (RCAAP)
repository_id_str https://opendoar.ac.uk/repository/7160
spelling RF capacitively coupled plasmas in N2-H2 mixturesComunicação em PosterThis paper studies the modifications induced in low-pressure radio-frequency capacitively coupled nitrogen plasmas, by the addition of a few amount of hydrogen (up to 5%). The plasmas are studied using both experiments (electrical and optical emission spectroscopy measurements) and simulations (using a fluid+kinetic code). Results reveal that the electron density increases with the amount of injected H2, at constant coupled power.Work supported by a PICS Cooperation Program, financed by the Portuguese FCT and the French (CNRS). A. Mahjoub thanks the ANR program (ANR-09-JCJC-0038 contract) for a post-doctoral position.European Physical SocietyUniversidade do MinhoMahjoub, A.Gouveia, A.Carrasco, N.Pintassilgo, C. D.Marques, L.Ramos, Marta M. D.Alves, L. L.Cernogora, G.20122012-01-01T00:00:00Zconference objectinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionapplication/pdfhttp://hdl.handle.net/1822/20138enghttp://escampig2012.ist.utl.pt/Proceedings/index.htminfo:eu-repo/semantics/openAccessreponame:Repositórios Científicos de Acesso Aberto de Portugal (RCAAP)instname:FCCN, serviços digitais da FCT – Fundação para a Ciência e a Tecnologiainstacron:RCAAP2024-05-11T06:06:52Zoai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/20138Portal AgregadorONGhttps://www.rcaap.pt/oai/openaireinfo@rcaap.ptopendoar:https://opendoar.ac.uk/repository/71602025-05-28T15:41:36.507438Repositórios Científicos de Acesso Aberto de Portugal (RCAAP) - FCCN, serviços digitais da FCT – Fundação para a Ciência e a Tecnologiafalse
dc.title.none.fl_str_mv RF capacitively coupled plasmas in N2-H2 mixtures
title RF capacitively coupled plasmas in N2-H2 mixtures
spellingShingle RF capacitively coupled plasmas in N2-H2 mixtures
Mahjoub, A.
title_short RF capacitively coupled plasmas in N2-H2 mixtures
title_full RF capacitively coupled plasmas in N2-H2 mixtures
title_fullStr RF capacitively coupled plasmas in N2-H2 mixtures
title_full_unstemmed RF capacitively coupled plasmas in N2-H2 mixtures
title_sort RF capacitively coupled plasmas in N2-H2 mixtures
author Mahjoub, A.
author_facet Mahjoub, A.
Gouveia, A.
Carrasco, N.
Pintassilgo, C. D.
Marques, L.
Ramos, Marta M. D.
Alves, L. L.
Cernogora, G.
author_role author
author2 Gouveia, A.
Carrasco, N.
Pintassilgo, C. D.
Marques, L.
Ramos, Marta M. D.
Alves, L. L.
Cernogora, G.
author2_role author
author
author
author
author
author
author
dc.contributor.none.fl_str_mv Universidade do Minho
dc.contributor.author.fl_str_mv Mahjoub, A.
Gouveia, A.
Carrasco, N.
Pintassilgo, C. D.
Marques, L.
Ramos, Marta M. D.
Alves, L. L.
Cernogora, G.
description Comunicação em Poster
publishDate 2012
dc.date.none.fl_str_mv 2012
2012-01-01T00:00:00Z
dc.type.driver.fl_str_mv conference object
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv http://hdl.handle.net/1822/20138
url http://hdl.handle.net/1822/20138
dc.language.iso.fl_str_mv eng
language eng
dc.relation.none.fl_str_mv http://escampig2012.ist.utl.pt/Proceedings/index.htm
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.publisher.none.fl_str_mv European Physical Society
publisher.none.fl_str_mv European Physical Society
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Repositórios Científicos de Acesso Aberto de Portugal (RCAAP)
instname:FCCN, serviços digitais da FCT – Fundação para a Ciência e a Tecnologia
instacron:RCAAP
instname_str FCCN, serviços digitais da FCT – Fundação para a Ciência e a Tecnologia
instacron_str RCAAP
institution RCAAP
reponame_str Repositórios Científicos de Acesso Aberto de Portugal (RCAAP)
collection Repositórios Científicos de Acesso Aberto de Portugal (RCAAP)
repository.name.fl_str_mv Repositórios Científicos de Acesso Aberto de Portugal (RCAAP) - FCCN, serviços digitais da FCT – Fundação para a Ciência e a Tecnologia
repository.mail.fl_str_mv info@rcaap.pt
_version_ 1833595476248625152

Similar Items